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行业动态
将粒度为60目-320目和粒度为320目- 500目的金属铬粉混合均匀,烘干备用,粒度为60目- 320目的金属铬粉与粒度为320目- 500目的金属铬粉的质量比为5:3, 9:2;
将混合的金属铬粉加入到冷压模具内,用700Mpa - 100Mpa压力冷压成型,保压1s - 120s,压制为所需尺寸实心圆柱体的铬靶材坯料;
用包覆纸将铬靶材坯料表面包覆,装入热压模具内,入炉;
抽真空到O-15pa,升温到300°C-400°C,保温10min-30min,继续升温到600°C-800°C,停止加热,启动热压设施,对正热压设施的上下压头,对铬靶材坯料8Mpa-12Mpa压力下预热压60s-90s ;关闭热压设施,继续升温到1300°C-1600°C,保温30min - 120min; 再启动热压设施,用20Mpa-10Mpa压力热压成型,保压1min-10min,降温到100°C后出炉,得到铬靶材。
该制备方法工艺简单,操作方便,对环境友好,产品成品率高,实现了工业化生产。